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    鋼材熱處理之:零流量工藝在真空滲氮爐中的應(yīng)用

    鋼材熱處理之:零流量工藝在真空滲氮爐中的應(yīng)用 

    滲氮又稱氮化,是指(在一定溫度下當(dāng)爐內(nèi)氣氛達(dá)到一定要求的情況下)將氮原子滲入到金屬工件表層,使其表面形成一種能夠提高零件表面硬度和表面耐磨性的一種化學(xué)熱處理工藝。氮化可以分為:氣體氮化、液體氮化和離子氮化。本文主要介紹一種新型氣體氮化工藝——零流量氣體滲氮。


    根據(jù)不同工藝載體,氣體氮化可以分為:傳統(tǒng)氣體滲氮(100%NH3),可控氣體滲氮(NH3+DissNH3或NH3+N2)和零流量技術(shù)滲氮(100%NH3)。


    1.傳統(tǒng)氣體滲氮工藝

    傳統(tǒng)氣體滲氮工藝由德國(guó)AFRY在1923年所發(fā)表,將工件置于爐內(nèi),在500~550℃時(shí)將氨氣通入到爐內(nèi),保持20~100h,使氨氣分解為原子狀態(tài)的(N)和(H),是(N)和金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)滲氮處理,從而獲得工件表面的高硬度,良好的抗疲勞性能,提高耐腐蝕性。通常滲氮層的厚度為0.02~0.2mm,表面硬度能夠達(dá)到1000~1200HV。NH3分解率取決于流量的大小與溫度的高低而有所改變,流量愈大則分解度愈低,流量愈小則分解率愈高,溫度愈高分解率愈高,溫度愈低分解率亦愈低,NH3氣在570℃時(shí)熱分解如下:      


    NH3→〔N〕Fe+2/3H2


    分解出來(lái)的N,隨而擴(kuò)散進(jìn)入鋼的表面。這種傳統(tǒng)的氣體滲氮工藝對(duì)于滲氮層深度的控制十分有限,而且由于通入的是100%氨氣,生成的滲氮層由e+g¢+a相疊加而成(見(jiàn)圖1)。通過(guò)多年的工業(yè)實(shí)踐,通常氮化表層的e+g¢相(通常極其厚且脆)在熱處理完成之后要被打磨掉,增加了額外的生產(chǎn)成本。

    2.可控氣體滲氮工藝

    可控氣體滲氮是在50~60年前推出,與傳統(tǒng)的通入100%氨氣的工藝相比呈現(xiàn)出很多的優(yōu)勢(shì)。可控氣體滲氮工藝采用氨氣+裂解氨或氨氣+N2,氣體通過(guò)適當(dāng)?shù)谋壤M成和調(diào)節(jié)通入反應(yīng)室,可以得到所期望的滲氮層,這里包括e+g¢+a相,g¢+a相或a相,并且在一定區(qū)域可以得到希望的滲氮層厚度;滲氮層的組成由溫度T和氮?jiǎng)軰n兩個(gè)參數(shù)控制。圖2是兩種工藝氣體的工藝圖。由于滲氮層可以控制,可以避免滲氮層的缺陷產(chǎn)生。從而省略熱處理后e+g¢+a相滲氮層進(jìn)行打磨的工序,降低生產(chǎn)成本。然而,這種采用兩種成分氣體的滲氮工藝和傳統(tǒng)工藝一樣對(duì)氣體的消耗量也是相當(dāng)大的。


    此外,這種工藝還存在其他的弊端。由于氨氣NH3+氮?dú)釴2的滲氮工藝存在氮化不平衡特性,使它比氨氣+裂解氨的滲氮工藝在滲氮層生成控制精度要差一些。但是,使用氨氣+裂解氨需要安裝氨氣裂解器,也會(huì)增加額外成本。

    3.零流量滲氮工藝

    零流量滲氮工藝是經(jīng)過(guò)多年實(shí)踐開(kāi)創(chuàng)的一個(gè)新技術(shù),所謂的零流量是指在可控滲氮過(guò)程中只使用氨氣一種工藝氣體。與氨氣+裂解氨或氨氣+氮?dú)獾墓に囅啾龋懔髁扛鼮楹?jiǎn)單。通過(guò)調(diào)節(jié)進(jìn)入氮化室氨氣的流量來(lái)控制氮化過(guò)程中的氮?jiǎng)軰n,零流量工藝獨(dú)特先進(jìn)性就在于氮化過(guò)程中在某一時(shí)刻進(jìn)入氮化室的氨氣流量為零,這一點(diǎn)擴(kuò)大了氮化室中氣氛成分的分解范圍,也就是增加了氮?jiǎng)軰n。


    零流量簡(jiǎn)單控制原理就是通過(guò)氣體分析儀設(shè)定的目標(biāo)來(lái)控制氨氣注入閥周期性的開(kāi)關(guān)來(lái)維持氮化室內(nèi)需要的氣體成分,也就是氮?jiǎng)軰n的設(shè)定值。


    零流量這個(gè)概念是基于實(shí)踐和理論而得出的,通過(guò)在試驗(yàn)室使用石英管氮化試驗(yàn)設(shè)備和在工廠使用帶有金屬殼體氮化室,并配有循環(huán)風(fēng)機(jī)的真空氮化爐中進(jìn)行試驗(yàn)。在兩種氮化環(huán)境中分別使用氨氣(零流量),氨氣+裂解氨和氨氣+氮?dú)馊N工藝氣體對(duì)樣件進(jìn)行氮化處理。


    通過(guò)在這兩種試驗(yàn)設(shè)備中進(jìn)行試驗(yàn)得出的數(shù)據(jù)表明滲氮層的生長(zhǎng)速度只取決于滲氮室中的氣體成分或氮?jiǎng)軰n,它即與注入氮化室中的工藝氣體(氨氣、氨氣+裂解氨或氨氣+氮?dú)猓o(wú)關(guān),也和氮化環(huán)境無(wú)關(guān)。這個(gè)實(shí)驗(yàn)也證明在真空氮化爐中進(jìn)行零流量滲氮過(guò)程中,周期性的切斷氨氣的注入,對(duì)滲氮層的生長(zhǎng)不會(huì)產(chǎn)生影響。


    圖3是零流量滲氮工藝的工藝圖,從這張圖中可以反映出溫度、氨氣流量和氮?jiǎng)軰n的關(guān)系。工藝過(guò)程中有兩個(gè)階段:

    第一階段,將一定量的氨氣通入到真空氮化爐,使氮化室內(nèi)的氣氛組成達(dá)到設(shè)定的一個(gè)值,從而氮?jiǎng)菀矔?huì)迅速升高。


    第二階段,從圖中可以看到氮化過(guò)程中氨氣的流量周期性變?yōu)榱悖@是因?yàn)榈覂?nèi)的氣氛組成達(dá)到設(shè)定值后,氨氣控制閥就周期性自動(dòng)關(guān)閉。在這個(gè)階段,氨氣的注入量迅速下降從而導(dǎo)致氮?jiǎng)軰n減小,這是我們所希望的。因?yàn)榈獎(jiǎng)葜礙n通常采用分段控制,初期用高氮?jiǎng)荩黾颖砻婧浚泻笃诮档偷獎(jiǎng)荩贡砻娓叩蛐牟繑U(kuò)散,減少表面高氮白層的厚度,避免形成網(wǎng)狀氮化物。


    從這張圖中也能看出,相比于其他可控氣氛滲氮工藝,零流量工藝更為簡(jiǎn)單,只需在設(shè)備上安裝一個(gè)氨氣注入控制閥和氣體檢測(cè)儀器,通過(guò)檢測(cè)儀器來(lái)檢測(cè)滲氮室內(nèi)的氫分壓來(lái)控制氨氣注入的流量,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氮?jiǎng)軰n的控制和滲氮零件表面的氮化質(zhì)量,得到所希望的金相。


    西科沃克公司在真空滲氮爐中分別試驗(yàn)了零流量、氨氣+裂解氨,在530℃時(shí)得出了氮?jiǎng)軰n和氣體消耗量的關(guān)系圖(見(jiàn)圖4)。可見(jiàn)在獲得同一氮?jiǎng)輹r(shí),零流量工藝對(duì)于氨氣的消耗量比氨氣+裂解氨要少很多,從而節(jié)約成本。


    圖5是西科沃克公司在真空氮化爐中對(duì)活塞環(huán)進(jìn)行零流量滲氮處理的檢測(cè)結(jié)果。滲氮層的深度既滿足了客戶的需求,而且硬度高于要求指標(biāo)。

    4.結(jié)語(yǔ)

    零流量工藝滲氮技術(shù)和可控氣氛滲氮技術(shù)(NH3+NH3diss.或者NH3+N2雙組分氣氛)相比能得到同樣質(zhì)量的氮化層,工藝過(guò)程中通過(guò)調(diào)節(jié)通入氮化室的氨氣流量來(lái)實(shí)現(xiàn)氣氛組分,并能夠通過(guò)脈沖方式階段性關(guān)閉流量來(lái)達(dá)到和NH3+NH3diss.氣氛一樣的控制精度,而且零流量氮化工藝與可控氣氛滲氮技術(shù)相比顯示了其耗氣量低,且裝備簡(jiǎn)化,控制系統(tǒng)成本更低的優(yōu)點(diǎn)。在滲氮層生成控制方面,比可控氣氛滲氮更為容易。

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